Граничний залишковий тиск – це максимальний вакуум, що досягається в замкнутому обсязі, т.е. е. досягаючи такого вакууму насос вже далі продовжує працювати лише для підтримки тиску. Одиницями виміру є Па, бари.
Це і називають "залишковим тиском", тобто тиск, що залишилося в посудині після відкачування з нього газів Існують спеціальні насоси, які можуть досягти глибокого вакууму до 0,00001 Па, але все одно не до нуля. У звичайному житті рідко коли потрібно вакуум глибше 0,5 – 10 Па (0,00005-0,0001 атм).
Граничне залишкове тиск високовакуумного насосу в системі досягається, коли подальше відкачування призводить лише до незначного зниження тиску. Сумарне залишкове тиск складається із значень парціальних тисків різних газів, присутніх у системі.
Граничне залишковий тиск – Найменше тиск, яке може бути досягнуто в певних умовах при використанні конкретних пристроїв для відкачування. Форвакуум – вакуум, що створюється насосом нижчого вакууму при послідовній роботі кількох насосів.